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通常情況下，我們可以理解氣相色譜儀為精密儀器，在眾多的實驗中細致操作很重要，這里主要說明——利用氣相色譜儀測定SiHSl3含量的原理和主要步驟，因此就先看其工作原理：
選用高純氫氣做載氣，待測樣品進入汽化室后被瞬間汽化，在載氣推動下，經過色譜分離柱，由于不同化合物的性質存在差異，它們在固定相的分配系數不同，流出色譜分離柱的速度有快有慢，因而被測的混合物組分被色譜柱分離成單一組份，并依次被載氣帶入熱導檢測器（TCD）進行檢測，經色譜工作站處理、計算機自動積分從而達到測定的目的。
然后是利用氣相色譜儀測定SiHSl3含量的分析步驟，在這個環節中需要明白一個概念就是——SiHSl3含量的重要性，
1.打開氫氣閥門，將載氣流量調到40ml/min，待氣流量穩定后。
2.打開設備電源開關。
3.待設備穩定后，進入“定溫設置”界面，設定“柱箱”溫度70℃，“汽化室”溫度100℃，“檢測器”溫度90℃。
4.在恒溫控制0.5h左右，進入“熱導”界面，開啟熱導工作開關。
5.取少量SiHCl3樣品在預先準備好的小石英安瓿瓶內，用1ml注射器抽取SiHCl3液體樣品約0.02ml，迅速注入進樣口，樣品在載氣推動下送入色譜柱進行分離，通過氣相色譜儀檢測器檢定和色譜工作站處理，獲得HCl、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4各組分色譜圖并保存譜圖。
如此的結構、如此的實驗、如此的步驟，總是在zui平常的工作中揭示zui神秘的原理性能，使用這樣的精密儀器還要注意保養！
